将硅棒切片做成硅片,大体有10个步骤:

        首先拉出来的硅棒会被截去硅头、硅尾,切下来的硅头、硅尾会被削成晶种,去拉新的硅棒,实现硅棒生产的无限套娃。

        别笑,笑出声的小伙伴请蹲地上绕三圈。

        接下来用四探针法测量棒身的电阻率,用来检查轴向的杂质浓度是否异常。

        四探针就是四根金属探针,想了解的小伙伴自己去某度查。

        检测完成后,陈地忠将硅棒裁成30厘米长度的硅段,进入下第2道工序:滚磨。

        顾名思义,滚磨就是将硅段固定在机器上,让其滚动,用侧面的金刚石砂轮对棒身进行打磨。

        由于直拉法无法精确地控制晶体生长获得一个完美的圆柱体,所以得先拉出一个粗一点的硅棒,再通过滚磨得到想要的目标尺寸。

        硅棒与金刚石砂轮的剧烈摩擦会大量发热,需要持续加水降温。

        滚磨完成后,要在硅段侧面再磨出一个平面或者一道沟槽,这就是以后硅片上的定位边或定位槽,光刻机需要通过它们来对硅片进行最开始的定位和校准。

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