在业界,定位边还有一个小作用,就是标注硅片的类型和晶向。
接下来是第3步,把硅段切片。
研究中心推荐了某种型号的内圆切割机。这种切割机是一种带有环形刀片的铡刀,就像切火腿一样切割硅棒。
切割机的优点是切割稳定、切面平整;缺点是效率低、一次只能切一片;而且由于刃口较厚,切割时损耗的硅料较多,不适合处理相对更薄的大尺寸硅片。
所以,陈立东提出的切片方式是使用金刚线的多线切割机,也就是用上面固定有金刚石颗粒的钢丝线,同时对硅段进行多段切割。
这种线切法虽然不如传统刀片稳定,后续硅片打磨的时间也更长,但胜在切割效率高、损耗低。
追读的书友们一定知道,东华早就研究出了纳米级的金刚石,开发出了系列金刚石切割工具。
现在,陈地忠就在实验金刚石钢丝线切割硅棒的效果。
第4步,打磨硅片。
切下来的硅片,再进行一遍机械打磨,让表面更加平整,同时让整体变薄,通过磨片将厚度减到700微米左右。
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